Handbook of silicon based MEMS materials and technologies

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Support: E-Book
Langue: Anglais
Publié: San Diego, CA : Elsevier Science, 2015.
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500 |a Numérisation de l'édition de San Diego, CA : Elsevier Science, 2015. 
500 |a La pagination de l'édition imprimée correspondante est de 827 p. 
506 |a L'accès complet à la ressource est réservé aux usagers des établissements qui en ont fait l'acquisition 
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