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|a Handbook of silicon based MEMS materials and technologies
|c edited by Markku Tilli, Teruako Motooka, Veli-Matti Airaksinen... [et al.].
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| 256 |
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|a Données textuelles.
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| 264 |
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1 |
|a San Diego, CA :
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|a Titre provenant de la page de titre du document numérique.
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| 500 |
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|a Numérisation de l'édition de San Diego, CA : Elsevier Science, 2015.
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| 500 |
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|
|a La pagination de l'édition imprimée correspondante est de 827 p.
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| 506 |
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|a L'accès complet à la ressource est réservé aux usagers des établissements qui en ont fait l'acquisition
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| 538 |
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|a Configuration requise : navigateur internet.
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| 776 |
0 |
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|t Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies / Veikko Lindroos
|b Second Edition
|d San Diego, CA : Elsevier Science, 2015
|h 1 vol. (827 p.)
|z 978-0-323-29965-7
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| 856 |
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|q HTML
|u https://srvext.uco.fr/login?url=https://univ.scholarvox.com/book/88829585
|w Données éditeur
|z Accès à l'E-book
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