Handbook of silicon based MEMS materials and technologies

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Support: E-Book
Langue: Anglais
Publié: San Diego, CA : Elsevier Science, 2015.
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Lien: Autre support: Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies / Veikko Lindroos
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Description:Titre provenant de la page de titre du document numérique.
Numérisation de l'édition de San Diego, CA : Elsevier Science, 2015.
La pagination de l'édition imprimée correspondante est de 827 p.
Support:Configuration requise : navigateur internet.
ISBN:9780323312233
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