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|a Reinhardt, Karen A..
|4 aut.
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1 |
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|a Handbook of Silicon Wafer Cleaning Technology
|c Karen Reinhardt.
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|a Données textuelles.
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|a Titre provenant de la page de titre du document numérique.
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|a La pagination de l'édition imprimée correspondante est de 794 p.
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|a L'accès complet à la ressource est réservé aux usagers des établissements qui en ont fait l'acquisition
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|a Configuration requise : navigateur internet.
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