Handbook of Silicon Wafer Cleaning Technology

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Auteur principal: Reinhardt, Karen A.. (Auteur)
Support: E-Book
Langue: Anglais
Publié: San Diego : Elsevier Science, 2018.
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Description:Couverture (https://static.cyberlibris.com/books_upload/136pix/9780323510851.jpg).
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La pagination de l'édition imprimée correspondante est de 794 p.
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ISBN:9780323510851
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