Materials and processes for next generation lithography
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| Auteur principal: | |
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| Support: | E-Book |
| Langue: | Anglais |
| Publié: |
San Diego :
Elsevier Science,
2016.
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| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Accès en ligne: | Accès à l'E-book |
| Lien: | Autre support:
Materials and Processes for Next Generation Lithography / Alex Robinson |
| Description: | Titre provenant de la page de titre du document numérique. La pagination de l'édition imprimée correspondante est de 636 p. |
|---|---|
| Support: | Configuration requise : navigateur internet. |
| ISBN: | 9780081003589 |
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